旭硝子將量產TFT大型光掩模石英底板

       日本旭硝子宣布，將開始銷售用于TFT液晶面板的大型光掩模石英底板。通過采用該公司積累的合成石英制造技術，可生成質量高且成本低的光掩模。計劃從2011年開始在福島縣的AGC Electronic生產，力爭2014年實現30億日元的銷售額。

       旭硝子此前已將合成石英的制造加工技術應用到了ArF激光器中的合成石英透鏡材料等半導體產品中。此次進一步將該技術應用于要求大型化的液晶用途，新開發出了大型光掩模石英底板。還支持采用第10代以上大型底板的液晶制造工藝（玻璃底板尺寸為2800mm×3000mm，光掩模尺寸為1620mm×1780mm），另外，還能以比原產品更低的成本進行生產。

（編輯 Akira）