推崇環保 日本正式開發TFT氧化物半導體

       用于液晶面板、有機EL面板以及電子紙等顯示面板驅動用途的氧化物半導體TFT的研發越來越活躍。其中，作為驅動有機EL面板的有力候補，氧化物半導體TFT更是備受期待。與原來采用非晶硅TFT相比，氧化物半導體TFT的載流子遷移率高達10cm2/Vs，是前者的10倍左右，這樣就便于提高有機EL面板的亮度。另外，氧化物TFT的特性不均較小，而且電流的時間變化也較少。

       因此，可輕松抑制有機EL面板的顯示不均現象，適于大面積化用途。另外，由于氧化物TFT可通過濺射法制造，因此導入時無需大幅改變現有的液晶面板生產線。鑒于上述優點，韓國LG顯示器（LG Display）、韓國三星電子（Samsung Electronics）以及臺灣友達光電（AU Optronics）等韓國和臺灣的大型面板廠商紛紛加大氧化物TFT的開發力度，日本廠商則是最近才開始大力開發。

       夏普在2009年12月舉行的顯示器技術國際學會“16th InternationalDisplay Workshops（IDW ’09）”上，公開了采用氧化物TFT的2.6英寸QVGA（320×240像素）液晶面板。氧化物半導體采用了IGZO（In-Ga-Zn-O）。

      凸版印刷的TFT采用了可進行涂布的氧化物半導體。由于采用了涂布工藝，有望降低制造成本。該公司試制出了將制造工序中的最高溫度降至270℃的氧化物TFT。與采用原來涂布工藝制造的氧化物TFT相比，其最高溫度“要低100℃以上”（凸版印刷）。凸版印刷的試制品是在玻璃底板上制作的，通過旋轉覆蓋（Spin Coat）對氧化物半導體進行涂布成膜。柵極絕緣膜以及源極等各個電極都可采用原來的制造工序。

      雖然比不上采用濺射法制造的產品，但凸版印刷的試制品實現了與普通非晶硅TFT同等程度的特性，遷移率超過0.5cm2/Vs，開關比超過105。特點是將電子紙和液晶面板的驅動納入考慮范圍。凸版印刷已經利用該試制品成功地驅動了美國E Ink生產的2英寸電子紙。

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（編輯：Karl）